塵埃粒子計數(shù)器的原理及注意事項      上海

一、塵埃粒子計數(shù)器使用注意事項：
1、當入口管被蓋住或被堵塞，不要啟動計數(shù)儀。
2、不要測有可能產(chǎn)生反應的混合氣體（如氫氣和氧氣）。這此氣體也可能在計數(shù)器內(nèi)產(chǎn)生。測這些氣體需與為取得更多的信息。
3、沒有高壓減壓設備（如高壓擴散器）不要取樣壓縮空氣，所有的粒子計數(shù)器被設計用于在一個大氣壓下操作。
4、水，溶液或其它液體都不能從入口管進入傳感器。
5、塵埃粒子計數(shù)器主要用來測試凈化車間干凈的環(huán)境，當測的地方有松散顆粒的材質(zhì)，灰塵源，噴霧處時，須zui少保持距管至少12英寸遠。以免以上的顆粒及液體污染傳感器及管路。
6、取樣時，僻免取樣從計數(shù)器本身排出來的或被計數(shù)器出來的氣體所污染的氣體。
7、當有打印機時，連接外置打印機時，需先關(guān)掉計數(shù)器；當執(zhí)行打印操作時，打印機上須有打印紙，否則會損傷打印頭。
8、靈敏度在0.1um的顆粒計數(shù)儀，如沒有特別的預防，不能用于測大于1000級的凈化車間，以免對其傳感器損傷。
二、塵埃粒子計數(shù)器原理及應用：
1、塵埃粒子計數(shù)器的介紹
目前塵埃粒子計數(shù)器的用戶越來越多，廣泛應用于醫(yī)藥、電子、精密機械、彩管制造、微生物等行業(yè)中，實現(xiàn)對各種潔凈等級的工作臺、凈化室、凈化車間的凈化效果、潔凈進行監(jiān)控，以確保產(chǎn)品的質(zhì)量。塵埃粒子計數(shù)器是用來測量空氣中微粒的數(shù)量及大小的儀器，從而為空氣潔凈度的評定依據(jù)。常見的塵埃粒子計數(shù)器是光散射式（DAPC）的，測量粒徑范圍0.1-10um，此外還有凝聚核式的塵埃粒子計數(shù)器（CNC），可測量尺寸更小的塵埃粒子。本文介紹光散射式塵埃粒子計數(shù)器。
2、塵埃粒子計數(shù)器的工作原理
空氣中的微粒在光的照射下會發(fā)生散射，這種現(xiàn)象叫光散射。光散射和微粒大小、光波波長、微粒折射率及微粒對光的吸收特性等因素有關(guān)。但是就散射光強度和微粒大小而言，有一個基本規(guī)律，就是微粒散射光的強度隨微粒的表面積增加而增大。這樣只要測定散射光的強度就可推知微粒的大小，就是光散射式粒子計數(shù)器的基本原理。實際上，每個粒子產(chǎn)生的散射光強度很弱，是一個很小的光脈沖，需要通過光電轉(zhuǎn)換器的放大作用，把光脈沖轉(zhuǎn)化為信號幅度較大的電脈沖，然后再經(jīng)過電子線路的進一步放大和甄別，從而完成對大量電脈沖的計數(shù)工作。此時，電脈沖數(shù)量對應于微粒的個數(shù)，電脈沖的幅度對應于微粒的大小。
塵埃粒子數(shù)器的具體工作原理：來自光源的光線被透鏡組1聚焦于測量腔內(nèi)，當空氣中的每一個粒子快速地通過測量腔時，便把入射光散射一次，形成一個光脈沖信號。這一光信號經(jīng)過透鏡組2被送到光檢測器，正比地轉(zhuǎn)換成電脈沖信號，再經(jīng)過儀器電子線路的放大、甄別，揀出需要的信號，通過計數(shù)系統(tǒng)顯示出來。
3、塵埃粒子計數(shù)器的組成及功能
3.1光源
光源是塵埃粒子數(shù)器的關(guān)鍵部件，對儀器的性能影響很大。光源要求穩(wěn)定性高、壽命長、不受干擾。光源有普通光源和激光光源兩種。普通光源為碘鎢燈，體積大、發(fā)熱量高、壽命短，開機后需要預熱。激光光源為激光器，體積小、穩(wěn)定性高、壽命長，常與檢測腔及光檢測器做成一體，組成傳感器。常見的激光光源有HeNe激光器、激光二管。采用普通光源的塵埃粒子計數(shù)器對0.3um以下的微粒信號響應很低，其信號幅度與計數(shù)器本身的噪聲幅度相差無幾，信號很難從噪聲中檢測出來。此類儀器雖然標有0.3um這一通道，但只適于測定大于0.3um特別是0.5um以上的微粒。由于激光的單色性好，光能量集中穩(wěn)定，所以采用激光光源的塵埃粒子計數(shù)器其傳感器有較高的信噪比，此類儀器有些能檢測到0.1um的微粒。
3.2測量腔
測量腔是進行微粒觀測的空間，被采集的空氣要從測量腔內(nèi)穿過。儀器的光學系統(tǒng)使光源經(jīng)透鏡、狹縫照射到測量腔中，形成一個體積約幾個立方毫米的光敏感區(qū)。當空氣中的塵埃通過光敏感區(qū)時，會散射出一部分光能量，被與入射光成一角度（90度或70度）的集光透鏡收集，再投射到光檢測器上。
3.3光檢測器
光檢測器是將散射光能量轉(zhuǎn)換為電信號的光電轉(zhuǎn)換器件。塵埃粒子計數(shù)器中zui常用的光檢測器是光電倍增管和光電二管。光電倍增管把光電子放大幾萬倍后轉(zhuǎn)換成幾個毫伏到幾十毫伏的電信號，具有光譜線性好、響應時間快、暗電流小的優(yōu)點，缺點是體積大。光電倍增管工作時需加上幾百伏特的負高壓，儀器中有相應的高壓產(chǎn)生電路，在對儀器進行調(diào)試或校準時應注意安全。光電二管是一種受到光照后能產(chǎn)生電子的半導體元件，具有體積小、外圍電路簡單的特點，常與檢測腔做成一體。
3.4流量監(jiān)控
塵埃粒子計數(shù)器的采樣流量一般為2.83L/min或28.3L/min，儀器常標識為0.1cfm（立方英尺每分鐘）或1cfm，主要是為了便于進行符合Fed-Std-209E的潔凈度的計算。大流量的采樣（28.3L/min）更能地反映空氣的潔凈狀況，但使zui大采樣濃度降低。
3.5氣泵及過濾器
氣泵位于儀器內(nèi)部，使儀器產(chǎn)生采樣流量。氣泵要求噪音低、振動小、產(chǎn)生的氣流穩(wěn)定。過濾器應能過濾掉0.3μm以上的微粒，以免從儀器排出的空氣對潔凈區(qū)產(chǎn)生影響。
3.6電路系統(tǒng)
不同粒徑大小的粒子經(jīng)塵埃粒子計數(shù)器的光電系統(tǒng)轉(zhuǎn)換后，會產(chǎn)生不同幅度（電壓）的電脈沖信號，粒徑越大，脈沖電壓越高。信號電壓與粒徑之間的關(guān)系，也叫轉(zhuǎn)換靈敏度。對于給定的塵埃粒子計數(shù)器，粒徑大小與脈沖電壓是一一對應的，例如某臺塵埃粒子計數(shù)器的轉(zhuǎn)換靈敏度為0.3um對應69mv，0.5μm對應531mv，1.0um對應701mv等，若塵埃粒子計數(shù)器檢測到一個脈沖為100mv，則這個粒子的大小肯定大于0.3um而小于0.5um。
塵埃粒子計數(shù)器是測量大于等于某一粒徑的粒子數(shù)量的儀器，其內(nèi)部電路就是統(tǒng)計大于等于某一電壓值的脈沖數(shù)量的電路。對于上段中的例子，測量空氣中大于等于0.3um粒子的數(shù)量，在電路中就是統(tǒng)計大于等于69mv的脈沖的個數(shù)，測量大于等于0.5um粒子的數(shù)量，在電路中就是統(tǒng)計大于等于531mv的脈沖的個數(shù)，依此類推。所以儀器對塵埃粒子的測量，主要靠轉(zhuǎn)換靈敏度這個參數(shù)。另外需要說明的是，每臺塵埃粒子計數(shù)器的轉(zhuǎn)換靈敏度均不同，在出廠時及以后須定期用標準粒子進行校準，以獲得*轉(zhuǎn)換靈敏度值。